离子风棒-001-5819

001-5819直流离子棒可用在型洁净室内，可通过 001-5800控制台和软件操控多条连接的离子棒，提供高离子输出量，能快速中和晶圆或工作台上的静电，001-5819直流空间离子棒的设计是为了为环境系统、层流柜和工作台的静电控制，可提供多种长度的离子棒，在层流风的使用下，中和静电，采用脉冲直流和连续直流技术，提供均衡的静电控制，与室内离子系统一样，001-5819直流离子棒的离子平衡和输出功率都可调整，调整方法为软件和遥控器。 001-5819直流离子棒可提供多种静电针（钨合金，钛合金 ，单晶硅针），多种材质静电针可适用多种环境，单晶硅材质静电针可在生产晶圆时采用，不选配单晶硅静电针的情况下可选择钨合金与钛合金静电针。 001-5819直流离子棒在使用软件或遥控器控制时，都可提供提供全面的离子棒控制，可设置工作模式调整：脉冲直流模式，普通直流模式，待机），正负电离同步开关时间，输出功率调整，只消除正电，只消除负电，高压异常报警，清洁周期报警等功能。在近距离30厘米以内建议用普通直流模式，在远距离下使用可用脉冲直流模式。